常見(jiàn)故障現(xiàn)象及處理方法系列一：質(zhì)譜無(wú)法正常開(kāi)機(jī)

質(zhì)譜長(zhǎng)期未使用、異常關(guān)機(jī)后可能會(huì)出現(xiàn)無(wú)法正常開(kāi)機(jī)情況，下面我們介紹一些質(zhì)譜無(wú)法正常開(kāi)機(jī)后的處理方法。

一、質(zhì)譜開(kāi)機(jī)步驟及易故障現(xiàn)象

1、檢查氣體壓力是否正常（參考下圖）。

若壓力異常，調(diào)節(jié)相應(yīng)閥門(mén)使之達(dá)到正常壓力。

若出現(xiàn)無(wú)壓力或調(diào)節(jié)閥門(mén)無(wú)效情況，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修氮?dú)獍l(fā)生器或檢修氣路。

2、檢查機(jī)械泵油量，如需要，請(qǐng)及時(shí)更換泵油（請(qǐng)參考：機(jī)械泵維護(hù)指南。（超鏈接）

），打開(kāi)機(jī)械泵。

若機(jī)械泵無(wú)法開(kāi)機(jī)或出現(xiàn)異響，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修。

3、約30min后打開(kāi)質(zhì)譜主機(jī)電源，質(zhì)譜指示燈點(diǎn)亮，并在常亮之后開(kāi)始閃爍。

若指示燈無(wú)法點(diǎn)亮，檢查電源線是否松動(dòng)。若無(wú)松動(dòng)，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

4、進(jìn)入Analyst軟件，激活質(zhì)譜并打開(kāi)質(zhì)譜狀態(tài)圖標(biāo)，查看儀器狀態(tài)。

4.1以API 4000為例。

（1）、觀察Backing Pump Status，Enabled表示機(jī)械泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

若出現(xiàn)Disabled，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修機(jī)械泵。

（2）、觀察Analyzer Turbo Pump，由初始Accelerating約幾分鐘后變?yōu)?Normal。

若一直處于Accelerating或者OFF，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

（3）、觀察Interface Turbo Pump，由初始Accelerating約幾分鐘后變?yōu)?Normal。

若一直處于Accelerating或者OFF，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

（4）、觀察Vacuum Gauge，由初始OFF，在Analyzer Turbo Pump、Interface Turbo Pump均達(dá)到Normal后約兩分鐘后顯示真空度數(shù)。

若一直處于OFF，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

注：質(zhì)譜狀態(tài)及其含義，請(qǐng)參考邁斯培訓(xùn)系列五：質(zhì)譜報(bào)錯(cuò)怎么辦？軟件死機(jī)了怎么辦？（超鏈接）

（5）抽真空過(guò)夜，觀察Vacuum Gauge，達(dá)到要求真空度，質(zhì)譜圖標(biāo)變?yōu)辄S色，開(kāi)機(jī)正常。

若無(wú)法達(dá)到要求真空度或質(zhì)譜圖標(biāo)變紅，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

4.2 以Triple Quad 5500為例。

（1）、觀察Backing Pump Status，Enabled表示機(jī)械泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

若出現(xiàn)Disabled，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修機(jī)械泵。

（2）、觀察Turbo Pump，由初始Accelerating約幾分鐘后變?yōu)?Normal。

若一直處于Accelerating或者OFF，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

（3）、觀察Vacuum Gauge，由初始OFF狀，在Analyzer Turbo Pump、Interface Turbo Pump均達(dá)到Normal后約兩分鐘后顯示真空度數(shù)。

若一直處于OFF，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

（4）抽真空過(guò)夜，觀察Vacuum Gauge，達(dá)到要求真空度，質(zhì)譜圖標(biāo)變?yōu)辄S色，開(kāi)機(jī)正常。

若無(wú)法達(dá)到要求真空度或質(zhì)譜圖標(biāo)變紅，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

注：待機(jī)狀態(tài)（CAD=0）真空范圍參考

二、質(zhì)譜異常關(guān)機(jī)故障排查

質(zhì)譜在運(yùn)行過(guò)程中突然關(guān)機(jī)。

1、檢查氣體壓力是否正常。若壓力異常，調(diào)節(jié)相應(yīng)閥門(mén)使之達(dá)到正常壓力。

若出現(xiàn)無(wú)壓力或調(diào)節(jié)閥門(mén)無(wú)效情況，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修氮?dú)獍l(fā)生器或檢修氣路。

2、檢查機(jī)械泵是否正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

若機(jī)械泵無(wú)法運(yùn)轉(zhuǎn)，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修機(jī)械泵。

3、觸摸分子泵外殼溫度是否正常。

若分子泵溫度異常高，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

4、嘗試開(kāi)機(jī)，觀察分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)聲音是否正常。

若分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)有異常噪音，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

5、若無(wú)法正常開(kāi)機(jī)，請(qǐng)查看event log并聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

請(qǐng)參考邁斯翔禾培訓(xùn)系列二：如何查看和保存 Event Log（超鏈接）

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